熱電対付きシリコンウェーハAWシリーズ 製品情報

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AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です。
「カスタマイズする」をクリックすることでウェーハサイズ・熱電対センサ点数・熱電対絶縁被覆種類などの項目を自由に組み合わせることができます。また、特注品の対応も可能です。

代表的な形名

タイプKの場合:AW-0505K-A-TS1-ANP

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使用温度範囲:
0~500℃
許容差:
0℃以上100℃以下:±2.5℃
100℃超200℃以下:±5.0℃
200℃超300℃以下:±6.0℃
300℃超400℃以下:±7.0℃
400℃超500℃以下:±8.0℃

希望小売価格(税抜) 265,000円


AW-0505K-S-TS1-ANP

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使用温度範囲:
0~500℃
許容差:
0℃以上100℃以下:±2.5℃
100℃超200℃以下:±5.0℃
200℃超300℃以下:±6.0℃
300℃超400℃以下:±7.0℃
400℃超500℃以下:±8.0℃

希望小売価格(税抜)365,000円

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