熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ モデル№早見表
| 項目 | 形名記号 | 仕様概要 |
| 1 ウェーハサイズ | 05 | 5インチ |
| 08 | 8インチ | |
| 12 | 12インチ | |
| 2 熱電対センサ点数 | 01 | 1点 |
| 05 | 5点 | |
| 09 | 9点 | |
| 3 絶縁被覆材質 | T | フッ素樹脂 |
| A | アルミナ繊維スリーブ | |
| S | 石英管 | |
| 4 コードの長さ | 1 | 1m |
| 1.5 | 1.5m | |
| 2 | 2.5m | |
| 2.5 | 2.5m | |
| … | … | |
| 5 プラグ形状 | ASP | 標準プラグ(熱電対同種金属) |
| ANP | ミニプラグ(熱電対同種金属) | |
| W | 切りっぱなし | |
| WT3 | Y端子M3用(一般電極材) | |
| WT4 | Y端子M4用(一般電極材) | |
| WT5 | Y端子M5用(一般電極材) | |
| WC3 | 丸穴端子M3用(一般電極材) | |
| WC4 | 丸穴端子M4用(一般電極材) | |
| WC5 | 丸穴端子M5用(一般電極材) | |
| ANJY3 | Y端子M3用(熱電対同種金属) | |
| ANJY4 | Y端子M4用(熱電対同種金属) | |
| ANJC3 | 丸穴端子M3用(熱電対同種金属) | |
| ANJC4 | 丸穴端子M4用(熱電対同種金属) | |
| WA | バナナ端子(一般電極材) |