熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ モデル№早見表

画像

項目形名記号仕様概要
1
ウェーハサイズ
055インチ
088インチ
1212インチ
2
熱電対センサ点数
011点
055点
099点
3
絶縁被覆材質
Tテフロン
Aアルミナ繊維スリーブ
S石英管
4
コードの長さ
11m
1.51.5m
22.5m
2.52.5m
5
プラグ形状
ASP標準プラグ(熱電対同種金属)
ANPミニプラグ(熱電対同種金属)
W切りっぱなし
WT3Y端子M3用(一般電極材)
WT4Y端子M4用(一般電極材)
WT5Y端子M5用(一般電極材)
WC3丸穴端子M3用(一般電極材)
WC4丸穴端子M4用(一般電極材)
WC5丸穴端子M5用(一般電極材)
ANJY熱電対材Y端子(熱電対同種金属)
WAバナナ端子(一般電極材)