熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ 仕様表

形名 *1AW-***K-TAW-***K-AAW-***K-S
熱電対種タイプ K
使用温度範囲 *20~260℃0~500℃0~500℃


0℃以上100℃以下±2.5℃±2.5℃±2.5℃
100℃超200℃以下±2.5℃±5.0℃±5.0℃
200℃超300℃以下±2.5℃ (260℃以下)±6.0℃±6.0℃
300℃超400℃以下±7.0℃±7.0℃
400℃超500℃以下±8.0℃±8.0℃
成績書試験点100, 150, 200, 250℃100, 200, 300, 400, 490℃
ウェーハサイズ5, 8, 12インチ
熱電対素線径φ0.13mm
熱電対絶縁被覆材質テフロンアルミナ繊維スリーブ石英管
一般(メーカー)校正の温度範囲 *350~250℃50~490℃50~490℃
JCSS校正の温度範囲 *4本製品はJCSS校正をおこなっておりません
修理 *5修理できます

*1形名の*には形名選択できる数字が入ります。
*2 使用温度範囲は、ウェーハや絶縁被覆部の使用温度範囲であり、それ以外には適用されませんのでご注意下さい。
*3 一般(メーカー)校正は有償です。詳細は一般(メーカー)校正のページをご覧下さい。
*4 本製品はJCSS校正を行っておりません。JCSS校正の詳細はJCSS校正のページをご覧下さい。
*5 詳細は修理のページをご覧ください。