熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ

AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です。ウェーハサイズ・熱電対センサ点数・熱電対絶縁被覆種類 など項目を組み合わせることにより、よりお客様の用途にあった温度センサにすることができます。
また、お客様からのご支給品での製作など特注品の対応も可能です。

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1 ウェーハサイズ

AW-123-4-5-6

5インチ


8インチ


12インチ

2 センサ点数

AW-123-4-5-6

3 熱電対の種類

*計測器本体と同じ熱電対の種類を選択
熱電対の種類はタイプKのみです。熱電対の種類が計測器本体と異なりますと正しい温度が表示されません。必ず計測器本体と同じ熱電対の種類をお選び下さい。
なお、タイプK以外も特殊品で製作が可能です。別途、ご相談下さい。

AW-123-4-5-6

K

タイプK

4 絶縁被覆材質

AW-123-4-5-6

アルミナ繊維スリーブ
使用温度範囲:0~500℃


石英管
使用温度範囲:0~500℃


テフロン
使用温度範囲:0~260℃

5 コードの種類と長さ*この画面では選択できません。

AW-123-4-5-6

TS1

標準仕様:TSコード 1m
コード外径:φ2.3mm
被覆材質:シリコンゴム
耐熱温度:240℃

コードの長さは 0.5m単位で指定できます。

6 プラグ形状*この画面では選択できません。

AW-123-4-5-6
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ASP

標準プラグ(熱電対種同種金属)
対応本体:HD-1*0*,AP-400 など

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ANP

ミニプラグ(熱電対種同種金属)
対応本体:AM-8***,HD-1*5*,AP-450,AR-1***,R-460*,HPD-3*** など

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W

切りっぱなし

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WC3

M3用丸穴端子(一般電極材)

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WC4

M4用丸穴端子(一般電極材)

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WC5

M5用丸穴端子(一般電極材)

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WT3

M3用Y端子(一般電極材)

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WT4

M4用Y端子(一般電極材)

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WT5

M5用Y端子(一般電極材)

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ANJY

M4用Y端子(熱電対同種金属)

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WA

バナナ端子(一般電極材)